Ozon gazı hücreye girdikten sonra, hücre zarındaki proteinleri oksitleyerek onları işlevsiz hale getirir. Bu da hücre zarının parçalanmasına bakteri ve virüsün ölümüne yol açar.​ Hava da yüzey de ve su da dezenfeksiyonunda etkili bir yöntem olarak kullanılır. Ozon, bakterileri, virüsleri ve diğer mikroorganizmaları hızla okside ederek yok eder. Bu süreç, geleneksel dezenfektanlara göre hızlı ve etkili olur.